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SF6气体抽真空充气装置系统中真空泵的进气口内设置了防回油阀装置，当真空泵停止工作时防回油装置自动关闭，出气口的大气压进入泵腔，从而避免泵油逆流污染真空系统。系统中的冷冻系统由高低压压力控制器整定冷冻压缩机的进出口压力。一旦超出限值范围将自行切断冷冻压缩机的工作，低压断开时待压力回升或高压断开时，待压力回落后，再重新启动压缩机。总体结构，该装置采用手推移动式，可适应室内外正常环境条件下使用。本装置系统比较复杂，由真空泵、SF6压缩机、冷冻系统、贮存容器、管路、各种阀门、仪表及其他附件组成。电控箱、操作阀门和监视仪表全部集中于一侧面板且有流程指示，因而使用时方便明了。四、开机前的工作4.1、注意要点开机前请注意如下几点：管路连接要保证连接处的密封性。由于本装置出厂时已抽真空，但建议首次开机时先对本装置抽真空，方法见第五节有关内容。在首次开机使用后，一般应在贮存容器和管路内留少量SF6气体，否则开机时建议重新抽真空。4.2、管路连接用户在使用前，首先应将随机发送的橡胶软管根据功能的需要连接好，为尽可能减小管路损失，管路应尽量短。回收：电器设备——橡胶软管——回收进气口充放：电器设备——橡胶软管——充放出气（液）口电器设备SF6回收灌瓶需二根软管：电器设备——橡胶软管——回收进气口钢瓶——橡胶软管——充放出气（液）口贮存容器内SF6灌瓶：钢瓶——橡胶软管——充放出气（液）口4.3、油位检查回收装置中压缩机采用3GS冷冻机油作为润滑剂，真空泵采用高速真空泵油作为润滑剂，开机前应先检查油位。如果油位太低或太高，应加油或放油至油标视镜2/3位置，在运行中也应注意定期检查实际油位线，不应低于油位2/3太多。100＃机油，原则上使用期一年，到期需调换机油。4.4、冷冻系统检查冷冻系统采用R22为制冷剂，压缩机为全封闭活塞式压缩机，需要时则添加制冷剂。开机前还应检查线路有无损伤，接头有否松动，风机是否正常等等。

SF6气体抽真空充气装置冷凝器不转风扇电机缺陷检查风扇电机10电加热不工作断路器熔断电加热有缺陷检查断路器4DL检查电加热在检查上述故障可能的原因时，还应注意检查总电源断路器和各开关、按钮的接触性及有关的接线情况。7.2、真空泵7.2.1真空度不高的原因和方法真空泵出口检查，全压强不高，旋去加油塞无明显漏气声，可能存放不当，有水汽进入泵内，应更换新油。无漏气声，换油无效，应检查阀座上小油孔是否堵塞，小孔位置在泵的短阀片处月形槽内。接入系统后真空度不高，可能是系统接头，管道阀门，各类设备有漏气，应逐一捉漏检查，排除故障。泵未经拆卸清洗，突然出现撞击声，真空度下降，可检查旋片弹簧是否折断，或有无异物进入泵内。泵使用日久，真空度渐有下降，可能是润滑油混入可凝性气体和润滑油裂介变质，以及零件老化所致，可用换油、换零件，逐一试验。泵拆装后，有大漏气声，可能是橡胶件装配不当，损坏，应调整或更换。排气阀片老化变形、损坏或螺钉拉脱，会出现异样气声和油面的显著泛动，也会影响真空度，应调整重装。以上措施均无效，又无漏气声，可能使用日久，零部件磨损或受腐蚀所致，也可能是转子变形，精度降低，甚至转子、旋片等零件损坏，应拆开检查，修整或换上新零件。

SF6气体抽真空充气装置各功能的串联或切换主要通过操作集中于面板一侧的电控箱和球阀来完成。回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。净化功能是在完成上述回收、充放功能时同步完成的。系统中设置了两只油分离器，分别安装在压缩机的出口，以有效去除SF6气体所带的油份。系统回路中设置了干燥过滤器，以保证进入贮存容器的SF6的纯度并有效去除水份。过滤器带有加热再生装置，可在抽真空下加热再生，分子筛从而能反复使用。系统中设有可靠的保护装置，高压压力控制器安装在SF6压缩机排气口，一旦排气压力超过限定值它会自动停止压缩机的工作，待压力下降后再重新启动压缩机；阀安装在贮存容器上一旦超压阀自动打开排放气体，压力下降后自动关闭。另外，系统中还设置了监视仪表和控制仪表共七只，其中真空计一只，安装在装置回收进气口，并在真空计前装置了DN8电磁阀门，需要观察时打开即可；压力表五只，分别安装在回收进气口、SF6压缩机排气口、冷冻压缩机吸排气口和贮存容器上；冷冻系统上设置了一只温控，利用温包感应SF6液体温度。